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半导体三相电压跌落模拟发生器

专门面向晶圆厂、半导体设备设计研发的电压瞬变/ 短时中断模拟发生器。完全满足SEMI F47、IEC 61000-4-34 等标准要求，满足相角变化的测试要求，具有功能多样，兼容性强等特点。

EUT 容量:三相，AC 480 V, 200 A（持续时间1 min）

电网频率:50 Hz/60 Hz

跌落测试电压:0~125% 可调(2.5% 步进)

发生器输出端电压在额定负载条件下的过冲变化:不超过5%UT

电压暂降和中断与电源频率的相位关系:<±10°

电压中断方式:可选一相、二相、三相进行电压中断

电压暂降方式:相线对中线电压暂降,相线对相线电压暂降

冲击电流:≥ 1000 A

跌落( 升高) 起始/ 终止相位:0 ～ 359° (1°步进 )/ 0 ～ 359° (1°步进 )

跌落( 升高, 中断) 持续周波数:0.5 ～ 300 周波 (50 Hz 和 60 Hz)，（10ms~60s）

可导出波形图的采样通道( 需连接上位机) :输出项相线- 中线/ 相线- 相线电压波形图及当前选择项输出电流波形图，或当前选择项输入/

输出电压/ 电流波形图

采样速率:最大100 kHz